碼盤蝕刻的工藝流程與（yǔ）技術要點

以下是關於‌碼盤蝕刻‌的工藝流程及技術（shù）要點（diǎn），綜合金屬與玻璃材質加工工藝：

一、核心工藝流程‌

1、基材準備‌

金屬碼盤‌：常用SUS304不鏽鋼（厚度0.1~2.0mm）或（huò）銅材，需經除（chú）油、酸洗去除氧化層，確（què）保表麵潔淨。

玻璃碼盤（pán）‌：采用光學玻璃（如K9、石英），需拋光至表麵（miàn）粗糙度（dù）<0.02μm。

2、圖形轉移‌

掩膜製作（zuò）‌：金（jīn）屬碼盤噴塗（tú）感光油（yóu）墨（mò）（靜電（diàn）除塵後），UV曝光（guāng）顯（xiǎn）影形成圖（tú）案；玻璃碼盤采用光刻膠+激光光刻（德國設備，精度達納米（mǐ）級（jí））。

半刻工藝‌：支（zhī）持LOGO或編號蝕刻，深度可控。

3、蝕刻加工‌

金屬蝕刻‌：

濕法：FeCl₃溶液（40~50℃）蝕刻不鏽鋼，側蝕率<10%，精度±0.01mm。

幹法：等（děng）離子蝕刻（CF₄/O₂）用於高精度需（xū）求。

玻璃蝕刻‌：氫氟酸溶液腐蝕，需控製（zhì）濃度與時間避免過度刻（kè）蝕。

4、後處理‌

去膜清洗：金屬碼盤用NaOH溶（róng）液去膠，玻璃碼盤需氧等離子灰化殘留。

防腐蝕處理（lǐ）：金（jīn）屬碼（mǎ）盤可鍍鎳或鈍化（鉻酸（suān）鹽），玻璃碼盤鍍增透膜。

二、技術優勢‌

無毛刺變形‌：化學蝕刻避免機械（xiè）應（yīng）力，保持材料平整度（金屬碼盤≤0.02mm）。

複雜圖形‌：支持微米級（jí）碼道（最（zuì）小0.06mm）及異（yì）形結構加工。

量產效率‌：卷對卷（juàn）工藝日產能達（dá）1000㎡（金（jīn）屬），玻璃碼盤批量交期3天。

三、應（yīng）用場景‌

編碼（mǎ）器‌：高精度碼道（±0.0075mm）確保信號穩定（dìng）性。

光電設備‌：玻璃碼盤用於激光測距、光柵傳感器。